優(yōu)化制程參數 臺工研院讓LED生產(chǎn)變簡(jiǎn)單
來(lái)源：數字音視工程網(wǎng) 編輯：航行150 2015-11-19 13:46:54 加入收藏 咨詢(xún)
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在發(fā)光二極體(LED)繁復的磊晶制程中，氣體組成和流量、壓力、基板溫度和轉速等參數會(huì )交互影響，往往需要花很長(cháng)的時(shí)間來(lái)設定及調整磊晶參數，根據以往經(jīng)驗，做一組參數需要6到8小時(shí)，找出最佳化制程參數往往耗費一周，而且必須仰賴(lài)具多年磊晶制程經(jīng)驗人員判斷參數設定，才能得出更好的良率，因此“人”成為良率高低的關(guān)鍵所在。
如何讓經(jīng)驗判斷成為可供參考的數據模擬，臺灣工研院嘗試著(zhù)將實(shí)驗參數導入巨量數據庫，透過(guò)相關(guān)參數的優(yōu)化，節省制程開(kāi)發(fā)驗證的時(shí)間，開(kāi)發(fā)出“磊晶制程參數優(yōu)化系統”，透過(guò)知識系統的建立，也能縮短相關(guān)人才的養成時(shí)間。
臺灣工研院研發(fā)的磊晶制程參數優(yōu)化系統，是以有機金屬化學(xué)氣相沉積設備(MOCVD)的氣流、熱流、化學(xué)反應機制與氣體噴灑頭關(guān)鍵模組虛實(shí)整合技術(shù)，突破傳統磊晶廠(chǎng)找出最佳化制程參數方式。此項磊晶制程數碼化制造技術(shù)，也就是導入ECOS(Epitaxy Optimum Coupling System)這個(gè)虛實(shí)整合系統(Cyber-Physical System，CPS)。在這個(gè)系統中，“實(shí)體”部份是指結合機臺與制程的氣體噴灑模組;“虛擬”部份則是指制程參數數據庫。透過(guò)工研院進(jìn)行的測試，研發(fā)團隊已能掌握氣體噴灑模組性能，以及制程參數數據庫的操作方式及參數調控準確度。
透過(guò)此一開(kāi)發(fā)成果，不僅制程準確性獲得提高，磊晶參數決定時(shí)間從原來(lái)一周縮短為不到2小時(shí)，透過(guò)將經(jīng)驗數值化，也能將人員異動(dòng)對制程所造成的影響降至最低。
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